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氣冷 羅茨螺桿真空機組,是以氣冷羅茨真空泵為主泵,螺桿真空泵為前級泵的抽氣系統,此機組過流部分沒有任何液體作工作液,極限壓力不受水溫影響,對被抽工藝氣體不產生二次污染,便于排出氣體的回收。 由于選擇了氣冷羅茨泵作為主泵,那么整套機組的工作壓力范圍就十分寬廣,可以從幾百帕到幾萬帕;尤其適用于抽氣量大,但工作真空卻在100mbar以上;用單臺螺桿泵不僅抽氣量達不到,而且*都沒有生產那么大抽