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氣體循環冷卻羅茨真空泵主要由轉子1、轉子2、泵體4、冷卻器7 等組成，由于其特殊的結構設計，使其可以在高壓差和高壓縮比下長期可靠運行。冷卻氣體從泵體的兩側進入泵的吸氣腔，使泵不會因壓縮氣體而出現過熱，但對泵的抽氣性能沒有任何影響。右圖Ⅰ至圖Ⅴ是轉子在泵腔內旋轉120度并完成一次吸、排氣的過程。冷卻器和電機是每臺泵*的附件，冷卻器和電機的規格是根據不同的工況而定。泵可以單獨使用也可以多臺串聯使用，或與液環真空泵和普通羅茨真空泵串聯成機組，達到更高真空度來滿足各類工藝要求。
主要特點
1、單獨使用時直排大氣的工作真空度可以達到150mbar。
2、多級串聯或和其它前級泵泵串聯后可以達到中真空范圍。
3、特殊結構設計確保泵在高壓差和高壓縮比運行時不會過熱過載。
4、三葉漸開線型線結構和高精度機械加工確保產品運轉平穩安靜。
5、抽氣性能、噪聲、振動等主要性能比傳統二葉泵更有顯著提高。
6、先進的平衡式機械密封使泵的密封性能比傳統骨架密封更可靠。
7、泵腔為無油結構，適用于抽除一般空氣及各種特殊氣體。
8、與其它機械真空泵比較，節能效果十分顯著。
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