羅茨真空泵

三葉羅茨真空泵概況

　　羅茨真空泵具有二個三葉型轉子，通過一對同步反向旋轉高精度齒輪驅動，右圖為轉子在泵腔內旋轉120°，完成一次吸、排氣的過程。三葉轉子采用漸開線型線，轉動時互相不接觸并保持恒定間隙。可與多種前級泵配套，采用風冷或水冷方式和多種密封形式，滿足不同工藝和工況要求。

　　比傳統二葉型羅茨泵在抽氣效率、大允許壓差、溫升、振動、噪聲等關鍵性能指標上都具有明顯的技術優勢。三葉轉子采用高精度齒輪傳動和精密軸承支承，噪聲低、運轉更加平穩，在低入口壓力下仍具有較大抽氣速率。

主要特點

●轉速高、容積率高、溫升低、振動小。

●結構簡單、可靠性好，操作、維護方便。

●轉子被鎖緊，無軸向串動現象、故障率更低。

●所有平面靜密封采用O型圈密封，可以反復拆裝。

●主軸采用機械密封，確保泵腔無油和長期無泄漏。

●端蓋密封可采用機械密封、骨架、活塞環和迷宮密封等多種形式。

應用范圍

　　三葉不能單獨使用，必須與前級真空泵配套使用，配置不同類別的前級泵后，各項性能指標會有所不同。主要應用于需要大抽速和粗、中真空(103~10-2Pa)的真空系統，例如真空鍍膜、真空焊接爐、真空熱處理爐、大型空間模擬試驗、微電子及集成電路、燈管及燈泡制造、真空包裝、集中抽氣系統、各類化工處理、真空脫汽、真空脫水、真空冷凍干噪、真空蒸餾。

規格參數

注：上表各性能是在配用推薦前級泵的條件下獲得的，若視情況選用不同的前級泵，其主要性能指標會有所變化。抽氣速率系指在配用推薦前級泵的條件下，的入口壓力在67pa~2.67pa范圍內所測得的zui大抽氣速率。(見性能曲線)極限壓力系指在配用推薦前級泵的條件下，不帶任何附加容器、泵口密閉不進氣，經過充分抽氣后用壓縮式真空計在泵進氣口處測得的穩定的空氣分壓力的zui低值。